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          新聞詳情

          氣相沉積爐的特點

          時間:2020-10-9 9:47:00 來源:http://www.lelampah.com/news475833.html

          咸陽陶瓷研究院從事氣相沉積爐研發、生產多年,我公司生產的化學氣相沉積爐主要用于以碳氫氣體(如C3H8\CH4等)為碳源的材料表面或基體的CVD/CVI處理。

          此款氣相沉積爐的特點:

          化學氣相沉積爐采用的控制技術,能精密控制氣體的流量和壓力,爐膛內沉積氣流穩定,壓力波動范圍??;

          同時采用特殊結構沉積室,密封效果好,抗污染能力強;

          采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;

          對沉積產生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產物能進行有效處理;

          氣相沉積爐采用防腐蝕真空機組設計,持續工作時間長,生產效率高,維修率低。


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