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          新聞詳情

          關于氣相沉積爐的應用

          時間:2021-8-16 17:23:00 來源:http://www.lelampah.com/news666112.html

          隨著科技的發展傳統的難熔金屬制備方式成本較高,氣相沉積爐如果將氣體引入到室內,室內的襯底表面就會發生化學反應,對化學相沉積爐有了全新的要求,氣相沉積爐技術在鋰電子電池材料也可以應用,借助氣相沉積爐本身易重現和覆蓋性等特點,以下是有關氣相沉積爐的使用:

          1、為氣相沉積爐主體內有加熱室,水冷電極,測溫熱電偶,是處理工件的核心部分。

          2、為混氣罐,由1只電動蝶閥、2只浮子流量計和4只不銹鋼手動截止閥組成,負責氬氣和丙烷的混氣配比,以及向沉積爐內定量輸送工作氣體。

          3、2臺滑閥泵負責爐內空氣及工作廢氣的排除,使爐子工作在恒定的壓力范圍之內。

          4、過濾罐2臺負責滑閥泵前級的粉塵排除。

          5、真空電動蝶閥2臺在滑閥泵工作過程中,通過調節閥的開度,從而可以調節泵的抽速。

          6、加熱磁性調壓器,3臺獨立工作,完成爐溫的控制。



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