隨著科技的發展傳統的難熔金屬制備方式成本較高，氣相沉積爐如果將氣體引入到室內，室內的襯底表面就會發生化學反應，對化學相沉積爐有了全新的要求，氣相沉積爐技術在鋰電子電池材料也可以應用，借助氣相沉積爐本身易重現和覆蓋性等特點，以下是有關氣相沉積爐的使用：
1、為氣相沉積爐主體內有加熱室，水冷電極，測溫熱電偶，是處理工件的核心部分。
2、為混氣罐，由1只電動蝶閥、2只浮子流量計和4只不銹鋼手動截止閥組成，負責氬氣和丙烷的混氣配比，以及向沉積爐內定量輸送工作氣體。
3、2臺滑閥泵負責爐內空氣及工作廢氣的排除，使爐子工作在恒定的壓力范圍之內。
4、過濾罐2臺負責滑閥泵前級的粉塵排除。
5、真空電動蝶閥2臺在滑閥泵工作過程中，通過調節閥的開度，從而可以調節泵的抽速。
6、加熱磁性調壓器，3臺獨立工作，完成爐溫的控制。
